KitapOka | Физические основы микро-и нанотехнологий: учебное пособие

KitapOka | Физические основы микро-и нанотехнологий: учебное пособие

Haladym

0

ýükle

Kitabyň ady:	Физические основы микро-и нанотехнологий: учебное пособие
Awtory:	И.Б.Захарова
Kitap barada:	Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП- структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Физика нанотехнологий и наноразмерных структур» направления подготовки магистров «Техническая физика». Оно может быть также использовано студентами, обучающимися по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Инфо- коммуникационные технологии», в системах повышения квалификации и дополнительного образования.
Dili:	Rus
Çap edilen ýyly:	2010. – 204 с.
Formaty:	.pdf
Göwrümi:	3.71 mb
Baly:	100
Görülen sany:	194